低溫泵故障分析及解決措施探討

2013-03-14 許忠旭 可靠性與環(huán)境工程技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗室

低溫泵故障分析及解決措施探討

可靠性與環(huán)境工程技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗室 北京衛星環(huán)境工程研究所 許忠旭 劉志強

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　　摘要：制冷機低溫泵是目前環(huán)模設備使用最多的真空獲得設備，也幾乎是大型環(huán)模設備獲得清潔高真空環(huán)境的唯一選擇。低溫泵使用方便，可靠性高，故障率低。

　　筆者在單位工作過(guò)程中先后使用過(guò)美國CTI、CVI、奧斯汀、德國萊寶等多個(gè)廠(chǎng)家的低溫泵，對于低溫泵使用過(guò)程中發(fā)生的故障在判斷、定位、解決方法等方面積累了一定的經(jīng)驗。

　　本文將重點(diǎn)對低溫泵的典型故障進(jìn)行分析，并提出部分解決方法。

　　關(guān)鍵詞：低溫泵 環(huán)模設備 故障 解決方法