普發(fā)真空發(fā)布新款節能型干泵A 100 L ES

　　• 節能50%以上

　　• 結構緊湊、高抽速

　　• 清潔制成的理想選擇

　　2013年1月23日 德國 阿斯拉(Asslar)- A 100 L緊湊型干泵是專(zhuān)為半導體領(lǐng)域生產(chǎn)設備靈活集成的要求而量身定制開(kāi)發(fā)的一款產(chǎn)品。這款干多級羅茨泵是加載互鎖真空室(load-lock chambers)、晶片傳送室(transfer chambers )和其他無(wú)腐蝕應用(noncorrosive applications)的清潔制成環(huán)境中的理想選擇。

　　盡管這款干泵結構緊湊體積小巧，但她依然能夠帶來(lái)強大的抽速和高速響應的停機時(shí)間�，F今，A 100 L干泵已經(jīng)廣泛應用于全球領(lǐng)先的半導體工廠(chǎng)，并且非常適用于無(wú)塵室工作室。

　　在A(yíng) 100 L基礎上研發(fā)的新款A 100 L ES(ES=Energy Saving)系列經(jīng)過(guò)測試能夠節能50%以上，在低壓范圍內其抽速表現依舊強大。并且比A 100 L具有更低的極限壓力和噪音。

　　一個(gè)典型的案例：300毫米制成的半導體工廠(chǎng)在加載互鎖真空室(loadlock)裝備1300臺泵，一年能夠節約10GWh以上的能源，相當于大約36萬(wàn)歐元，5.1噸的二氧化碳排放。

　　此外為了節約能耗，A 100 L ES的極限壓力降低到了7x10^-4 mbar(hPa)。這開(kāi)創(chuàng )了在要求低壓環(huán)境下提高抽氣速度新的潛在應用。同時(shí)泵的噪音從58 dB (A)下降到了55 dB (A)。A 100 L ES無(wú)疑填補了我們在light duty process中產(chǎn)品節能的要求，就好比我們在medium duty process中A3P系列和harsh duty process中A3H系列一樣都能提供完美的節能產(chǎn)品。

About Pfeiffer Vacuum

　　Pfeiffer Vacuum-作為全球領(lǐng)先的真空技術(shù)解決方案的供應商之一。我們不僅擁有全系列的混合軸承及全磁懸浮渦輪分子泵，同時(shí)還擁有各種旋片泵，干泵，羅茨泵，氦氣質(zhì)譜檢漏儀，真空規，四級質(zhì)譜儀等產(chǎn)品以及真空管件和綜合真空系統。從普發(fā)1958年發(fā)明渦輪分子泵至今，我們在全球分析、研發(fā)、鍍膜、太陽(yáng)能、半導體和其他工業(yè)領(lǐng)域，始終代表著(zhù)創(chuàng )新的解決方案、高品質(zhì)、穩定可靠的產(chǎn)品和一流的服務(wù)。公司自1890年創(chuàng )立至今百余年，現有將近2300名員工，20多家分公司遍布全球，并且在德國、法國、羅馬尼亞、韓國設有生產(chǎn)制造基地。

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