Edwards Spectra-G 尾氣處理系統榮獲最佳產(chǎn)品大獎
由全球領(lǐng)先的高精真空設備和尾氣處理系統制造商及相應增值服務(wù)供應商Edwards集團公司研發(fā)的Spectra-GTM3000尾氣處理系統,由于其減少發(fā)光二極管(LED)制造污染和成本的重要作用,贏(yíng)得《工廠(chǎng)工程》雜志2012年“環(huán)境健康”類(lèi)的“年度最佳產(chǎn)品”獎。

“我們很高興贏(yíng)得這一聲名顯赫的大獎,”Edwards LED部門(mén)全球市場(chǎng)經(jīng)理Shao Wei說(shuō),“ Spectra-G 3000讓全球LED制造商減少其業(yè)務(wù)對環(huán)境的影響,同時(shí)降低他們的運營(yíng)成本。非常高興看到Edwards以環(huán)境責任奉獻最新技術(shù)的承諾已得到認可。”
中國的“十二五計劃”強調節能環(huán)保,它對于企業(yè)發(fā)展節能科技有一定的優(yōu)惠待遇,同時(shí)對于碳排放,水質(zhì)中的氮化物污染和空氣中的氮氧化物污染都設定了硬性指標。
將節能的LED燈用于普通照明和特殊應用(例如電腦和電視的平板顯示器背光(FPD))預計將對能源消耗和碳排放強度(間接)的降低帶來(lái)重大貢獻。但是,大規模LED制造可能產(chǎn)生氮化物和氮氧化物排放,這些排放物必須進(jìn)行處理。
Edwards的Spectra-G 3000系統是一種先進(jìn)的尾氣處理系統,為處理LED制造采用的有機金屬化合物氣相沉積(MOCVD)工藝中出現的大流量氨氣和氫氣而專(zhuān)門(mén)設計。它利用燃燒工藝將這些氣體轉化為無(wú)害的氮氣和水蒸汽。由于該工藝不使用外部的水,完全消除了供水的氮化物污染。燃燒過(guò)程的精確控制使氮氧化物的排放量大大低于許可的水平。氫氣的燃燒消除了制造設施下游設備的火災或爆炸危險。
由于來(lái)自MOCVD工藝的氨氣和氫氣的燃燒供應了大部分能量,這使得該系統顯著(zhù)減少了總體營(yíng)運成本。同時(shí)也極大地減少了燃料成本和烴燃料的碳排放。由于燃燒后我們使用空氣而不是水進(jìn)行冷卻,因此空氣可以進(jìn)行熱交換去收集并回收利用熱量,這進(jìn)一步減少了制造設施的能耗和碳足跡。最后,該系統的耐用設計和燃燒工藝的簡(jiǎn)潔性最大程度減少了設備維護成本。