密封器件壓氦和預充氦細檢漏候檢環(huán)境氦分壓的影響

密封器件壓氦和預充氦細檢漏候檢環(huán)境氦分壓的影響

薛大同¹ 肖祥正¹ 王庚林²

(1.蘭州空間技術(shù)物理研究所真空低溫技術(shù)與物理國家級重點(diǎn)實(shí)驗室;2. 北京市科通電子繼電器總廠(chǎng))

　　摘要：密封器件的氦質(zhì)譜細檢漏技術(shù)分壓氦法(即背壓法)和預充氦法兩種。地球干潔大氣中含有少量氦氣;壓氦時(shí)通常會(huì )產(chǎn)生檢漏用氦氣對環(huán)境大氣的污染，使環(huán)境氦分壓超過(guò)地球干潔大氣中的氦分壓。本文分別推導和分析了壓氦法候檢環(huán)境大氣中氦分壓的影響和預充氦法地球干潔大氣中氦分壓的影響。

　　對于壓氦法，在任務(wù)允許的最大標準漏率不超過(guò)1.4Pa×cm3/s，最小測量漏率小到1*10^-6 Pa×cm³/s，候檢時(shí)間不超過(guò)最長(cháng)候檢時(shí)間，密封器件的內腔有效容積不超過(guò)10² cm³ 量級的情況下，不需要考慮地球干潔大氣中氦分壓的影響，但是如果候檢環(huán)境大氣中氦分壓顯著(zhù)超過(guò)地球干潔大氣中的氦分壓，就可能加大測量漏率值。等效標準漏率越小，且密封器件內腔的有效容積越大，誤差會(huì )越大。所以，不僅氦質(zhì)譜檢漏儀房間應有通風(fēng)設備，與壓氦設備應放置于不同房間，以防止氦氣泄漏影響，而且，壓氦結束后，被檢器件就應盡快離開(kāi)壓氦設備所在的房間。

　　對于預充氦法：

　　(1)地球干潔大氣中的氦分壓不影響測量漏率～等效標準漏率關(guān)系曲線(xiàn)極大值點(diǎn)和極大值，所以候檢時(shí)間的第二特征點(diǎn)不變；

　　(2)地球干潔大氣中的氦分壓會(huì )使測量漏率通過(guò)極大值后出現極小值，且當候檢時(shí)間與內腔有效容積之比大于100 h/cm³ 時(shí)，極小值點(diǎn)仍處于分子流范圍，不能靠粗檢法鑒別，所以需輔以壓氦法復檢，才能防止漏檢；

　　(3)地球干潔大氣中的氦分壓還會(huì )使候檢時(shí)間的第一特征點(diǎn)變大，即不考慮地球干潔大氣中氦分壓影響的候檢時(shí)間第一特征點(diǎn)理論值偏小，從而擴大了需要輔以壓氦法復檢的范圍，即判據更嚴格而不是更寬松，因此不可能造成漏檢；

　　(4)地球干潔大氣中的氦分壓不影響“用壓氦法復檢時(shí)，為得到本征測量漏率，只需在顯示的測量漏率中扣除預充氦法所得測量漏率即可”的結論。