不同錐角的電極結構下真空沿面放電等離子體的生成特性分析

　　本實(shí)驗分別討論了采用三種不同錐角的電極下真空沿面放電時(shí)等離子體的生成特性。采用朗繆爾探針?lè )▽φ婵諆妊孛娣烹姰a(chǎn)生的等離子體參數進(jìn)行測量。圖9 為實(shí)驗過(guò)程中探針P1在探針偏壓為5V 時(shí)測得的電子電流波形圖。其中深紅色線(xiàn)代表電子電流，紫色線(xiàn)代表真空沿面放電時(shí)的光照強度。不斷改變探針電壓，記錄每一個(gè)探針電壓下產(chǎn)生的電子電流波形的峰值，繪制V- I 特性曲線(xiàn)，并求得等離子體的參數如下表1 所示。

圖9 探針?lè )▽?shí)測的電子電流波形

　　由表1 可以看出：首先，電極錐角越小，擊穿電壓越小，也就是說(shuō)，錐角越小的電極越容易發(fā)生沿面放電。其次，錐角為60°的電極放電時(shí)得到主放電電流最大，測得的等離子體密度也最大;錐角為120°電極時(shí)主放電電流最小，測得的等離子體密度也最小。

　　表1 三種不同錐角電極的等離子生成特性參數

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　　電極錐角對真空沿面放電等離子體生成特性的影響