旋轉陰極磁場(chǎng)測控系統設計與研究

旋轉陰極磁場(chǎng)測控系統設計與研究

陳長(cháng)琦 汪根生

(合肥工業(yè)大學(xué)真空科學(xué)技術(shù)與裝備研究所 合肥 230009)

　　摘要：隨著(zhù)能源問(wèn)題的日益凸顯，功能性玻璃正逐漸被人們所重視。而作為鍍膜工藝的關(guān)鍵部件之一 ——陰極的設計與生產(chǎn)，核心技術(shù)多被外企所壟斷，國內在該領(lǐng)域的設計與研究尚屬起步階段。

　　陰極設計主要分為：機械結構及磁場(chǎng)分布兩個(gè)方面。其中磁場(chǎng)的布局直接影響到濺射工藝的優(yōu)劣及其生產(chǎn)效率高低。合理、精準的磁場(chǎng)排布能夠有效的提高磁場(chǎng)的均勻性，增加靶材的利用率。因此對特定點(diǎn)位的磁場(chǎng)測量，提出了極高的要求。

　　本文著(zhù)眼于提高磁場(chǎng)的控制精度及測控的可重復性，設計了一套以PLC 為控制核心，伺服驅動(dòng)和伺服電機為執行機構的測控系統。開(kāi)發(fā)的磁場(chǎng)測控軟件，能夠對行進(jìn)步長(cháng)、速度、采樣精度等進(jìn)行設置。輔之于自鎖、限位保護、報警等功能，實(shí)現了三軸聯(lián)動(dòng)的運動(dòng)控制系統。

　　為了方便操作人員的使用，開(kāi)發(fā)的遠程登錄功能，使該網(wǎng)段內的授權使者，能夠實(shí)現遠程測控。提高了可用性和生產(chǎn)效率。設計已經(jīng)成功運用于科研與生產(chǎn)中，通過(guò)對現場(chǎng)磁棒的累計測量，系統的定位進(jìn)度達到了0.01 mm。對采樣的10 組數據比對分析表明，磁場(chǎng)測量的精度及可重復性均有了大幅度的提升。

　　關(guān)鍵詞：磁場(chǎng)測控 高精度定位 PLC 遠程控制