有機載體與陶瓷金屬化技術(shù)

2014-11-09 高隴橋 北京真空電子技術(shù)研究所

  本文敘述了陶瓷金屬化技術(shù)是厚膜工藝中重要的一支,指出有機載體在陶瓷金屬化中的重要地位。強調在載體中應添加多品種、沸點(diǎn)各異的溶劑和少量觸變劑等組分的必要性。

  陶瓷金屬化是厚膜漿料中重要的一支。厚膜漿料已廣泛應用于二微器件(微電子半導體器件、微波真空電子器件),例如:HTCC、LTCC和MLCC的厚膜電路上以及毫米波行波管電子器件、大功率真空電子器件等。厚膜漿料大體可以分為三種,即聚合物厚膜、難熔金屬厚膜(W、Mo)以及有色重金屬和貴金屬厚膜(Cu、Ni和Ag、Au、Pd、Pt)。

  聚合物漿料是包含有導體、電阻和絕緣體的聚合物材料的混合體,與后兩種厚膜不同,該厚膜只是在100~250℃下固化即可,不需要在1500~1600℃或850~1000℃條件下燒結。因而,在固化加工之后,其有機聚合物未能去除,從而成為厚膜的組成部分存在,而且,該厚膜通常應用于有機PCB板上,不屬于陶瓷金屬化工藝之列。

  厚膜漿料通常的兩個(gè)共同特點(diǎn)是:①適合于絲網(wǎng)印刷的具有非牛頓流變能力的粘彈性流體;②具有三元典型的組合,即金屬功能相、無(wú)機玻璃相和有機載體。厚膜漿料基本分類(lèi)見(jiàn)圖1。

 厚膜漿料的三種基本分類(lèi)

圖1 厚膜漿料的三種基本分類(lèi)

1、漿料流變特性的響應和行為

  漿料具有固體和液體之間的中間特性,既有彈性又有粘性,呈現粘彈性。適當的流變特性對漿料是十分重要的。最簡(jiǎn)單的響應是牛頓型,即其在整個(gè)剪切速率范圍內,剪切應力隨著(zhù)剪切速率呈線(xiàn)性變化并通過(guò)原點(diǎn),其流變特性見(jiàn)圖2。

  應該指出:牛頓型漿料不適合于絲網(wǎng)印刷工藝,特別是線(xiàn)條較細,圖形要求精確和高清晰地情況下更是難以為繼。實(shí)驗表明:絲網(wǎng)印刷用厚膜漿料應該具有以下兩個(gè)特性。

  (1)某種程度的觸變性

不同流體的流變行為

圖2  不同流體的流變行為

  具有觸變性漿料的特性是剪切速率與剪切應力之比呈非線(xiàn)性,隨著(zhù)剪切速率的增長(cháng),通常漿料粘度變小,漿料變得稀薄,漿料易于流動(dòng)。反之,剪切速率減小,粘度變大,漿料變得粘稠。這種有攪拌和靜置所支配的結構變化和恢復時(shí)間的不同是與不同漿料的組成、性能相聯(lián)系的。印刷時(shí)其厚膜漿料粘度變化見(jiàn)圖3。

印刷時(shí)觸變漿料的粘度變化

圖3 印刷時(shí)觸變漿料的粘度變化

  (2)一定數值的屈服點(diǎn)

  這是漿料流動(dòng)所需要的最小壓力,這個(gè)壓力應該顯著(zhù)地高于重力。由于存在有屈服點(diǎn),所以漿料在靜止條件下不會(huì )自行通過(guò)絲網(wǎng)而流動(dòng)。這對漿料粘度較小、膜層較厚、目網(wǎng)偏粗和無(wú)掩模印刷工藝的條件下,應顯得更加關(guān)注。

  綜上所述,根據不同流體的流變特征,在通常絲網(wǎng)印刷工藝條件下,厚膜漿料以選擇塑性流體為宜,見(jiàn)圖4。

不同流體的流變行為

圖4 不同流體的流變行為

  某種用于印刷工藝優(yōu)良性能的厚膜漿料除了滿(mǎn)足上述兩個(gè)基本性能指標外,還應該對其他一性能要求也需適當考慮。例如:漿料粘度、漿料表面張力以及漿料對陶瓷基板的粘附性等。

2、有機載體

  如前所述,有機載體是厚膜漿料的重要組成,它包含粘接劑、溶劑(稀釋劑)、觸變劑和分散劑等,雖然是暫時(shí)的添加物,在厚膜燒結之后,應盡可能地燒盡,但是,在整個(gè)絲網(wǎng)印刷工藝的過(guò)程中,顯得十分重要,它顯著(zhù)影響許多厚膜工藝和性能的參數。早期在真空電子技術(shù)領(lǐng)域應用的陶瓷金屬化技術(shù)里,比較注重厚膜漿料中金屬和玻璃相配方組成以及性能的研究和開(kāi)發(fā),并因此取得許多科研成果。然而,時(shí)至今日,隨著(zhù)其應用領(lǐng)域的不斷開(kāi)發(fā)和厚膜性能需求的提高,有機載體亦要隨著(zhù)應用的需求而有所思考和提高,并盡可能與微電子電路用厚膜漿料的特性結合,做到相互借鑒、取長(cháng)補短。

  (1)有機載體的基本要求:① 應是化學(xué)惰性。載體與固體粉粒接觸過(guò)程中,不發(fā)生化學(xué)反應;② 能形成懸浮體。載體與固體粉粒相接觸的界面,張力較小,以保證固體與液體之間有良好的浸潤;③ 載體引入后,使漿料有某種特性的流變性,并且粘度適當,可調節;④ 載體粘接性能好,印刷后致使漿料能牢固地粘附于陶瓷表面上;⑤ 溶劑在室溫下應有較低的蒸汽壓,以減少漿料此時(shí)此地的快速干燥,避免厚膜在干燥和燒結前產(chǎn)生微裂紋,同時(shí)保持漿料靜置過(guò)程中粘度的恒定;⑥ 粘接劑應能溶于多種無(wú)毒或少毒的有機溶劑中并生成高強度高韌性的厚膜,在某些特殊應用領(lǐng)域還要求化學(xué)穩定性好、吸濕小等;⑦ 有機載體中應含有適當的觸變劑,例如氫化蓖麻油、皂土和少量的分散劑,例如大豆卵磷脂、三乙醇胺等。

  (2)目前國內真空電子器件(包括有源、無(wú)源)陶瓷金屬化絲網(wǎng)印刷工藝應用有機載體的現狀和建議:

  國內通常大多廠(chǎng)家、公司采用乙基纖維素作為粘接劑而松油醇作為溶劑,通過(guò)不同比例混合兩者而成為有機載體。載體簡(jiǎn)便單一,但工藝性差,微觀(guān)上反映為時(shí)常會(huì )出現漿料組成不均勻,分散不好。燒結后的厚膜產(chǎn)生氣孔和微裂紋。宏觀(guān)上表現為封接強度差、氣密性不夠好,熱管理功能不達標。在要求印刷細線(xiàn)條、結構復雜和高清晰的圖形時(shí)更是困難。

  根據國內外有關(guān)報導:選用的粘結劑有硝酸纖維素、乙基纖維素和丙烯酸樹(shù)脂等,選用的溶劑(稀釋劑)有乙醇、異丁醇、醋酸丁酯、醋酸戌酯、萜品醇(松油醇)、丁醇、丁基卡必醇(二甘醇一丁醚)、檸檬酸三丁酯等。觸變劑有氫化蓖麻油,分散劑有大豆卵磷脂等。

  需要強調的是:采用多品種而沸點(diǎn)各不相同的溶劑比引入單一品種的來(lái)得好。一般而言,溶劑沸點(diǎn)的高低影響著(zhù)其揮發(fā)性的強弱。沸點(diǎn)低,揮發(fā)強,沸點(diǎn)高,揮發(fā)弱。不同沸點(diǎn)的溶劑的引入,可使漿料在干燥時(shí)緩慢而有序的揮發(fā),并隨著(zhù)溫度變化而使揮發(fā)呈階梯狀特性。常用溶劑的沸點(diǎn)見(jiàn)表1。

表1 厚膜漿料有機載體中常用溶劑的沸點(diǎn)

厚膜漿料有機載體中常用溶劑的沸點(diǎn)

3、結論

  (1)在厚膜漿料中,難熔金屬厚膜和有色重金屬、貴金屬厚膜技術(shù)是兩種在工藝和性能上皆不甚相同的,在生產(chǎn)和開(kāi)發(fā)電子器件上都是至關(guān)重要的。在混合微電子電路領(lǐng)域前者用于HTCC,后者用于LTCC。

  (2)真空電子器件、真空開(kāi)關(guān)管管殼等陶瓷金屬化的漿料技術(shù),應該適應日后電子器件的發(fā)展。例如,推薦有機載體的粘接劑選用乙基纖維素,采用多品種溶劑,適當添加觸變劑、分散劑、流平劑等,以提高陶瓷金屬化和封接的質(zhì)量水平。

  (3)微電子高密度封裝,近年來(lái)受到國家和行業(yè)的高度重視,資助經(jīng)費頗豐,取得了多項科研成果,應向其學(xué)習交流,努力將封接技術(shù)進(jìn)到一個(gè)新的水平。